1. A cabeza de detección de láser e a etapa de dixitalización da mostra están integradas, a estrutura é moi estable e a anti-interferencia é forte
2.PRECISIÓN DISPOSITIVO DE POSICIÓN DE ENDIDA
A mostra de unidade de eixe-eixe de soltura achégase automaticamente á sonda verticalmente, de xeito que a punta da agulla é perpendicular á exploración da mostra
4.O método de alimentación de agulla intelixente de control de cerámica piezoeléctrica controlada por motor Detección automática protexe a sonda e a mostra
5. Posicionamento óptico automático, non hai necesidade de concentrarse, observación en tempo real e posicionamento da área de dixitalización da mostra de sonda
6. Método a proba de choque de suspensión, simple e práctico, bo efecto a proba de choque
7. Caixa blindada blindada, sensor de temperatura e humidade de alta precisión incorporada, control en tempo real do ambiente de traballo
8. Escáner Integrado de corrección non lineal Editor de usuarios, caracterización de nanómetro e precisión da medición mellor que o 98%
Modo de funcionamento | Modo de tacto, Modo Toca |
Modo opcional | Fricción/forza lateral, amplitude/fase, forza magnética/electrostática |
Forza a curva do espectro | Curva de forza FZ, curva RMS-Z |
Rango de exploración XY | 20*20um, opcional 50*50um, 100*100um |
Rango de exploración Z. | 2.5um, opcional 5um, 10um |
Resolución de exploración | 0,2 nm horizontal, vertical 0,05 nm |
Tamaño da mostra | Φ≤90 mm, H≤20mm |
Viaxes en fase de mostra | 15*15mm |
Observación óptica | Lente Obxectiva óptica 4x/resolución de 2.5um |
Velocidade de dixitalización | 0,6Hz-30Hz |
Ángulo de exploración | 0-360 ° |
Ambiente operativo | Sistema operativo Windows XP/7/8/10 |
Interface de comunicación | USB2.0/3.0 |
Deseño de absorción de choques | Caixa protexida de primavera/metálica blindada |